东方晶源上新良率优化系统PME，打造半导体智能制造新数据引擎

东方晶源智能良率优化系统PME(Process Margin Explorer)已在客户现场完成部署，认真步入居品考据与评估阶段。看成继ODAS(CD-SEM智能离线数据系统)、YieldBook(玄虚良率经管系统)之后践行HPO(Holistic Process  Optimization)理念落地的又一力作，PME深度融入东方晶源"开拓-数据-算法"三位一体、软硬协同的良率提高措置决议，成为撬动半导体先进制程良率瓶颈的策略器具之一。

PME居品聚焦以下三大中枢功能：

基于想象领土的检测区域遴荐与优化；

整合想象领土信息的检测戒指智能采样与颓势自动分类；

PWQ Wafer检测数据快速分解与诠释一键生成。

与此同期，PME居品还配套宽阔的底层Pattern Match和Pattern Grouping引擎，大致高效地进行领土分析与处理任务。

基于想象领土的检测区域遴荐与优化

PME是络续芯片想象数据与芯片制造过程颓势数据的关节器具。它使得Fab用户不错依据想象领土信息建树晶圆检测程式，糟蹋传统检测程式对劝诫参数的依赖，PME将想象领土滚动为"数字卫星导航舆图"，用户不错依据想象领土指定、遴荐、优化我方的检测程式，使检测区域建树后果收场质的飞跃，权贵提高检测后果和检测精度。

    

整合想象领土信息的检测戒指智能采样与颓势自动分类

芯片制造颓势检测中，由于关节颓势在合座颓势中的占比低于3%，在海量误检数据中精确定位关节颓势的难度极高，这也平直导致了复检本钱长久居高不下。在以往的复检取样要领，主要依赖工程师个东谈主劝诫与机台保举算法，这种神气较难复制与协调。而在导入想象领土信息后，基于想象领土的过滤与取样算法，容易收场固定且顺序的取样规矩，获得协调的取样戒指，何况可凭证实质需求活泼增设新的取样规矩，真的收场智能化取样操作。此外，想象领土信息还大致深度诈欺于复检颓势的分类责任，极地面拓展了复检颓势分类的维度与信息容量，为工艺调优提供高维决策补助。

PWQ Wafer检测数据快速分解与诠释一键生成

现在，在芯片坐褥经过中，PWQ Wafer被平方诈欺于工艺窗口阐述和系统性颓势分析等关节要领。关联词，PWQ Wafer的检测戒指分析却主要依赖工程师东谈主工操作，不仅速率慢、后果低，而且戒指还有较大的个东谈主劝诫依存性。东方晶源PME居品的PWQ分析模块改进采选D2DB(Die-to-Database)本领，通过想象领土与SEM图像的亚像素级匹配，收场颓势精确定位和自动检出。现阶段PME居品的PWQ分析处理才调，相较于传统的PWQ分析神气，其分析速率提高卓越10倍以上。这一超卓性能使得PWQ分析戒指大致尽可能提前并快速地朝上游响应，有劲地加快了光罩、想象领土以及OPC等关节要领的迭代优化进度，匡助用户尽快收场良率爬升。

    

后续，PME将与东方晶源的电子束检测开拓、量测开拓，野心光刻器具等进行深度集成，构建起一套无缺的HPO一体化良率措置决议万博manbext网站登录，为国内晶圆厂客户提供更为全面、高效的本领补助，有用应付因先进工艺节点抓续鼓动而带来的制造良率繁难，为推动国内集成电路产业链收场弯谈超车注入强盛能源，助力产业在大师竞争风物中占据更为有意的地位。